激光功率傳感器是一種檢測器,它吸收激光束并輸出與光束功率成比例的信號,通常根據(jù)相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)以定義的精度進(jìn)行校準(zhǔn),并用作激光功率計的輸入。
要使用的傳感器類型取決于被測激光束的各種細(xì)節(jié),包括功率水平、光譜區(qū)域、光束大小等。例如,用于測量從幾微瓦到高達(dá) 100 千瓦或更高功率的傳感器通?;诟鞣N類型的熱探測器,而基于光電二極管的探測器通常是低至納瓦或皮瓦的較低功率的選擇。
一、激光熱功率傳感器
熱傳感器具有一系列稱為熱電堆的雙金屬結(jié)。通過傳感器的徑向或軸向熱流產(chǎn)生的電壓與流經(jīng)熱電堆時吸收的功率成正比。讀數(shù)不依賴于環(huán)境溫度,因為只測量溫差而不是絕對溫度。熱電堆元件的排列方式使得讀數(shù)幾乎與光束大小和位置無關(guān)。
二、激光光電二極管傳感器
光電二極管傳感器在很大的光功率水平范圍內(nèi)具有高度的線性度:從幾分之一納瓦到大約 2 mW。高于該光照水平,對應(yīng)于大約 1 mA 的電流,傳感器飽和并錯誤地讀取低值。
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